硬件系统
1、光机电一体化设计，外形构造简单；
2、扫描探头和样品台集成一体，抗干扰能力强；
3、精密激光检测及探针定位装置，光斑调整简单，操控方便，容易掌握；
4、采用样品趋近探针方法，使针尖垂直于样品扫描；
5、伺服马达人工或自动脉冲控制，推动样品垂直接近探针，实现扫描区域定位；
6、高精密度大范围的样品移动装置，可自由移动感兴趣的样品扫描区域；
7、高精密度大范围的压电陶瓷扫描器，按照不同精度和扫描范围要求选择；
8、带光学定位的CCD观测系统，实时观测与定位探针扫描样品区域；
9、采用伺服马达控制CCD自动对焦功能；
10、模块化的电子控制系统设计，便于电路的持续改进与维护；1
1、集成多种扫描工作模式控制电路，配合软件系统使用。1
2、带温度显示。1
3、弹簧悬挂式防震方法，简单实用，抗干扰能力强
软件系统
1、可观测样品扫描时的表面形貌像、振幅像和相位像；
2、具有接触、轻敲,可选装相位、摩擦力、磁力或静电力工作模式；
3、可任意选择图像采样点为256×256或512×512；
4、多通道图像同步采集显示，实时查看剖面图；
5、多种曲线力-间距(F-Z)、频率-RMS（f-RMS）、RMS-间隙（RMS-Z）测量功能；
6、可进行扫描区域偏差、剪切功能，任意选择感兴趣的样品区域；
7、可任意选择样品起始扫描角度；
8、激光光斑检测系统的实时调整功能；
9、针尖共振峰自动和人工搜索功能；
10、可任意定义扫描图像的色板功能；1
1、支持样品倾斜线平均、偏置实时校正功能；1
2、支持扫描器灵敏度校正和电子学控制器自动校正；1
3、支持样品图片离线分析与处理功能。
二、主要技术指标
1、工作模式：接触、轻敲、可扩展相位、摩擦力、磁力或静电力
2、样品尺寸：Φ≤90mm，H≤20mm
3、大扫描范围：横向50um，横向5um
4、扫描分辨率：横向0.2nm，横向0.05nm
5、扫描速率：0.6Hz~4.34Hz
6、扫描角度：任意
7、样品移动范围：0～50mm
8、马达趋近脉冲宽度：10±2ms
9、光学放大倍数：10X
10、光学分辨率：1um1
1、图像采样点：256×256，512×5121
2、扫描控制：XY采用18-bit D/A，Z采用16-bit D/A1
3、数据采样：14-bit A/D、双16-bit A/D多路同步采样1
4、反馈方法：DSP数字反馈1
5、反馈采样速率：64.0KHz1
6、电脑接口：USB2.01
7、运行环境：运行于Windows98/2000/XP/7/8控制系统